Краткое описание проекта/продукта:
Контактирующая головка предназначена для измерения поверхностного сопротивления различных материалов и тонких пленок с температурой образца в процессе измерения (100 – 300) °С. Конструктивные особенности позволяют производить измерения непосредственно в процессе роста покрытий на диэлектрических и полупроводниковых подложках, без необходимости охлаждать образец до комнатной температуры и развакуумировать технологическое оборудование.
Наименование характеристики |Значение
Диапазон измеряемого поверхностного сопротивления пленки, кОм/ð, | 100 - 300
Толщина покрытия исследуемого материала, нм|60-250
Давление, Па | 9·10-6
Газовыделение, л-мм рт.ст./см2 | 1,2
Дополнительные характеристики:
Приоритетные категории искомых потребителей/заказчиков:
Полупроводниковое производство, микроэлектроника, разработчики и производители приборов.
Приоритетные категории искомых партнеров:
Разработчики и производители РЭА, электронной компонентной базы
Контакты:
121467, Россия, Москва, ул. Молдавская, д. 5, стр. 2
Телефон: +7 (495) 788-44-44 (доб. 5000)
Электронная почта: info@ostec-group.ru
https://ostec-electro.ru/
Контактирующая головка предназначена для измерения поверхностного сопротивления различных материалов и тонких пленок с температурой образца в процессе измерения (100 – 300) °С. Конструктивные особенности позволяют производить измерения непосредственно в процессе роста покрытий на диэлектрических и полупроводниковых подложках, без необходимости охлаждать образец до комнатной температуры и развакуумировать технологическое оборудование.
Наименование характеристики |Значение
Диапазон измеряемого поверхностного сопротивления пленки, кОм/ð, | 100 - 300
Толщина покрытия исследуемого материала, нм|60-250
Давление, Па | 9·10-6
Газовыделение, л-мм рт.ст./см2 | 1,2
Дополнительные характеристики:
- конструкционный материал: керамика – вакуумплотный корундовый материал марки ВК9401, корпус – бериллиевая бронза марки БрБ2, медь – марки МБ;
- материал зондовых игл – вольфрам;
- радиус закругления острия игл 150 мкм, расстояние между центрами игл 1,59 мм ± 25 мкм.
Приоритетные категории искомых потребителей/заказчиков:
Полупроводниковое производство, микроэлектроника, разработчики и производители приборов.
Приоритетные категории искомых партнеров:
Разработчики и производители РЭА, электронной компонентной базы
Контакты:
121467, Россия, Москва, ул. Молдавская, д. 5, стр. 2
Телефон: +7 (495) 788-44-44 (доб. 5000)
Электронная почта: info@ostec-group.ru
https://ostec-electro.ru/