Контактирующая головка предназначена для измерения поверхностного сопротивления различных материалов и тонких пленок с температурой образца в процессе измерения (100 – 300) °С. Конструктивные особенности позволяют производить измерения непосредственно в процессе роста покрытий на диэлектрических и полупроводниковых подложках, без необходимости охлаждать образец до комнатной температуры и развакуумировать технологическое оборудование.
Наименование характеристики |Значение
Диапазон измеряемого поверхностного сопротивления пленки, кОм/ð, | 100 - 300