«Совтест АТЕ» предлагает решение для автоматического измерения кристаллов на тонких пластинах

Ультратонкие пластины толщиной менее 200 мкм являются важными составными элементами в производстве полупроводниковых приборов. По различным оценкам в 2020 году пластина толщиной 100-199 мкм занимала более 50% доли рынка. И с учетом ее растущего применения в устройствах памяти, спрос на неё будет расти в среднем на 6% в год до 2027 года. Толщина архитектуры памяти варьируется от 100 до 300 мкм. Развитие 3D-памяти также расширит рыночные возможности для тонких пластин толщиной 100-199 мкм.

Из-за особых механических свойств ультратонких пластин их изготовление и обработка отличаются от традиционных. Технологическая карта на современном производстве при проведении измерений кристаллов на тонкой пластине может идти разными маршрутами: на целой пластине, на пластине после процедуры резки или проводятся измерения отдельных кристаллов.

Для автоматического измерения кристаллов на ультратонких и тонких полупроводниковых пластинах толщиной от 20 мкм ООО «Совтест АТЕ» предлагает оптимальное решение.

FP2000 – зондовая станция для автоматической загрузки и выгрузки, позиционирования пластины, а также обеспечения прецизионного контактирования кристаллов с технологической оснасткой при проведении измерений. Зондирование осуществляется как для стандартных полупроводниковых пластин диаметром 5 ̋, 6 ̋ и 8 ̋, так и для пластин на рамке-носителе (фрейм) тип 2-6-1 и 2-8-1.

FP3000 – зондовая станция для работы с пластинами диаметром от 200 до 300 мм и толщиной от 20 мкм и более на рамке-носителе.

Основные преимущества станций:

• функция зондирования, как целой пластины, так и уже порезанной. За счет нового программного обеспечения также реализована возможность проведения измерений отдельных кристаллов, размещенных на рамке-носителе;
• автоматическое выравнивание полупроводниковой пластины;
• мультисайтовое зондирование;
• автоматическая коррекция положения зондовых игл для точного и мягкого контактирования;
• быстрая замена зондовых быстросъемных столиков (CHUCK) под определенный тип пластины;
• проверка отпечатка на контактной площадке;
• автоматическая смена проб карт (Probe Card);
• считывание штрих-кода;
• считывание идентификаторов пластин;
• высокоточное машинное зрение, дополненное цветным монитором;
• тестирование пластин в диапазоне температур.

Станции оснащены загрузчиком, как для одной пластины, так и для кассеты емкостью до 25 пластин.

В текущем году специалисты ООО «Совтест АТЕ» осуществили поставку и ввод в эксплуатацию станции FP2000 в г.Зеленограде. В качестве измерителя использовался тестер микросхем FT-17HF-768 производства ООО «Совтест АТЕ» с вариантом бескабельной стыковки (полное наименование: «Стенд измерительный для контроля параметров микроэлектронных компонентов FT-17HF-768»).

Более подробно о зондовых станциях ACCRETECH и Совтест АТЕ можете узнать 

на сайте.